Κλίβανος εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD), Αυτόματος κλίβανος πυροσυσσωμάτωσης ζιρκονίας

Περιγραφή προϊόντων

Φούρνος Αποθέσεως Χημικών Ατμών CVD, Φούρνος Συσσωρεύσεως Ζιρκονίου

Εφαρμογή σε φούρνο χημικής αποθέσεως ατμών:

Φούρνος χημικής απορρόφησης ατμών μπορεί να χρησιμοποιηθεί για χημική εναπόθεση ατμών σύνθετων υλικών με αέριο άνθρακα (όπως C3H8, κλπ.) ως πηγή άνθρακα,όπως επεξεργασία CVD και CVI σύνθετων υλικών C/C και σύνθετων υλικών SiC.

Χαρακτηριστικά του κλιβάνου χημικής απορρόφησης ατμών:

Χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία ελέγχου, μπορεί να ελέγχει με ακρίβεια τη ροή και την πίεση του αερίου, η ροή αερίου εναπόθεσης στο φούρνο είναι σταθερή και το εύρος διακυμάνσεων πίεσης είναι μικρό.

Ο ειδικός θάλαμος αποθέματος έχει καλή επίδραση σφράγισης και ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης.

Η πολλαπλή οδός αποθέσεων αερίου υιοθετείται, το πεδίο ροής είναι ομοιόμορφο, η νεκρή γωνία αποθέσεων δεν σχηματίζεται και το αποτέλεσμα αποθέσεων είναι καλό.

Τα πολύ διαβρωτικά αέρια απορροής, τα εύφλεκτα και εκρηκτικά αέρια, η στερεή σκόνη και τα ιξώδη προϊόντα χαμηλού σημείου τήξης που παράγονται από την εναπόθεση μπορούν να υποβληθούν σε αποτελεσματική επεξεργασία·

Η πιο πρόσφατη αντι-διάβρωση μονάδα κενού έχει μεγάλο χρόνο εργασίας και χαμηλό ποσοστό συντήρησης.

Κύρια διαμόρφωση του κλιματιστικού κλιματιστικού κλιματιστικού κλιματισμού

Πύλη κλιβάνου: βίδα / υδραυλική / χειροκίνητη κλειδαριά / αυτόματη κλειδαριά

Κέλυφος φούρνου: πλήρης ατσάλι άνθρακα / εσωτερική στρώση ανοξείδωτου χάλυβα / όλο ανοξείδωτο χάλυβα

Φούρνος: μαλακό φέλτσιο άνθρακα / μαλακό φέλτσιο γραφίτη / σκληρό φέλτσιο σύνθετο

Θέρμανση: ισόστατο γραφίτη / τυποποιημένο τριπλό υψηλό γραφίτη / λεπτό γραφίτη

Σύστημα αερίου διεργασίας: μέτρο ροής όγκου / μάζας, χειροκίνητη βαλβίδα / αυτόματη βαλβίδα, εισαγόμενη / εγχώρια

Αντλία κενού και μετρητής κενού --- εισαγόμενα/εγχώρια

Διασύνδεση άνθρωπος-μηχανή: οθόνη αφής / βιομηχανικός υπολογιστής

Ηλεκτρικά εξαρτήματα: Chint / Schneider / Siemens