Forno di deposizione chimica a vapore, forno a gas a vuoto

Descrizione di prodotto

Forno di deposizione chimica a vapore, forno a gas a vuoto

Applicazione:

Può essere utilizzato per la deposizione chimica di vapore di materiali compositi con gas di carbonio (come C3H8, ecc.) come fonte di carbonio,come il trattamento CVD e CVI di materiali compositi C/C e materiali compositi SiC.

Caratteristiche:

Utilizzando una tecnologia di controllo avanzata, può controllare con precisione il flusso e la pressione del gas, il flusso di gas di deposizione nel forno è stabile e il range di fluttuazione della pressione è piccolo;

La camera di deposizione della struttura speciale ha un buon effetto di sigillamento e una forte capacità antiinquinamento;

Il percorso del gas di deposizione multicanale è adottato, il campo di flusso è uniforme, l'angolo morto di deposizione non si forma e l'effetto di deposizione è buono;

I gas di scarico altamente corrosivi, i gas infiammabili ed esplosivi, le polveri solide e i prodotti viscosi a basso punto di fusione prodotti dalla deposizione possono essere trattati efficacemente;

L'unità di vuoto anti-corrosione di ultima generazione ha un lungo tempo di lavoro e un basso tasso di manutenzione.

Configurazione principale del forno di deposizione

Porta del forno: sollevamento a vite / / sollevamento idraulico /; serratura manuale / serratura automatica

Conchiglia del forno: acciaio a carbonio completo / acciaio inossidabile a strato interno / tutto acciaio inossidabile

Forno: feltro morbido di carbonio / feltro morbido di grafite / feltro composito duro

Riscaldatore: grafite isostatica / grafite moltiplicata a tre altezza / grafite fine

Sistema di gas di processo: misuratore di flusso di volume / massa; valvola manuale / valvola automatica; importato / domestico

Pompe a vuoto e misuratori di vuoto--- importazione/domestica

Interfaccia uomo-macchina: touch screen / computer industriale

Componenti elettrici: Chint / Schneider / Siemens