Ứng thép lắng đọng hơi hóa học tùy chỉnh, lò cảm ứng chân không khí

Mô tả sản phẩm

Ứng thép lắng đọng hơi hóa học tùy chỉnh, lò cảm ứng chân không khí

Ứng dụng:

Nó có thể được sử dụng để lắng đọng hơi hóa học của vật liệu tổng hợp với khí carbon (như C3H8, vv) như là nguồn carbon,như xử lý CVD và CVI của vật liệu tổng hợp C / C và vật liệu tổng hợp SiC.

Đặc điểm:

Sử dụng công nghệ điều khiển tiên tiến, nó có thể điều khiển chính xác dòng chảy và áp suất của khí, dòng chảy khí lắng đọng trong lò ổn định và phạm vi biến động áp suất nhỏ;

Phòng lắng đọng cấu trúc đặc biệt có hiệu ứng niêm phong tốt và khả năng chống ô nhiễm mạnh mẽ;

Đường dẫn khí lắng đọng nhiều kênh được áp dụng, trường dòng chảy đồng đều, góc lắng đọng chết không hình thành và hiệu ứng lắng đọng là tốt;

Khí hậu rất ăn mòn, khí dễ cháy và nổ, bụi rắn và các sản phẩm nhớt có điểm nóng chảy thấp được tạo ra bằng cách lắng đọng có thể được xử lý hiệu quả;

Đơn vị chân không chống ăn mòn thiết kế mới nhất có thời gian làm việc dài và tỷ lệ bảo trì thấp.

Cấu hình chính của lò lắng đọng

Cửa lò: nâng vít / / nâng thủy lực /; khóa thủ công / khóa tự động khóa vòng

Vỏ lò: thép carbon hoàn toàn / thép không gỉ lớp bên trong / tất cả thép không gỉ

Cửa lò: Cảm carbon mềm / Cảm graphite mềm / Cảm tổng hợp cứng

Máy sưởi: graphite isostatic / đúc ba graphite cao / graphite mịn

Hệ thống khí quá trình: bộ đo lưu lượng khối lượng / khối lượng; van thủ công / van tự động; nhập khẩu / trong nước

Máy bơm chân không và máy đo chân không--- nhập khẩu/nhà nước

Giao diện người máy: màn hình cảm ứng / máy tính công nghiệp

Các thành phần điện: Chint / Schneider / Siemens