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カスタマイズされた化学蒸気堆積炉 ガス真空誘導炉

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Packaging Details : Standard Packing Delivery Time : Shipped in 25 days after payment
Payment Terms : L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, Supply Ability : 800 pcs per month
Place of Origin: China ブランド名: Xirui
証明: CE Model Number: Chemical Vapor Deposition Furnace

詳細情報

name: Chemical Vapor Deposition Furnace Feature: Easy Operation
Dimension(L*W*H): 35L cooling method: Internal circulation cooling
Max operating temp: 1500 Application: silicon carbide, ceramics
ハイライト:

金属の溶ける炉

,

鋼の溶融炉

製品の説明

カスタマイズされた化学蒸着炉、ガス真空誘導炉

 

アプリケーション:

 

炭素源として炭素ガス(C3H8など)を用いた複合材料の化学蒸着、例えばC/C複合材料やSiC複合材料のCVDおよびCVI処理に使用できます。

 

特徴:

 

高度な制御技術を採用し、ガスの流量と圧力を正確に制御でき、炉内の蒸着ガス流量は安定しており、圧力変動範囲は小さいです。

特殊構造の蒸着チャンバーは、良好なシール効果と強力な汚染防止能力を備えています。

多チャンネルの蒸着ガス経路を採用し、流場が均一で、蒸着デッドアングルが形成されず、蒸着効果が良好です。

蒸着によって生成される高腐食性テールガス、可燃性および爆発性ガス、固形粉塵、および低融点粘性生成物を効果的に処理できます。

最新設計の耐腐食性真空ユニットは、長い稼働時間と低いメンテナンス率を実現しています。

蒸着炉の主な構成

炉扉:スクリューリフト//油圧リフト/;手動ロック/自動ロックリングロック

炉殻:全炭素鋼/内層ステンレス鋼/全ステンレス鋼

炉:ソフトカーボンフェルト/ソフトグラファイトフェルト/ハード複合フェルト

ヒーター:等方性グラファイト/成形三高グラファイト/微細グラファイト

プロセスガスシステム:体積/質量流量計;手動バルブ/自動バルブ;輸入/国産

真空ポンプと真空計---輸入/国産

マンマシンインターフェース:タッチスクリーン/産業用コンピュータ

電気部品:Chint/Schneider/Siemens

 

容量 (L) 35 226 602 1177 1899
最高温度 (℃) 1500 1500 1500 1500 1500
作業領域サイズ D × H (mm) Φ300×500 Φ600×800 Φ800×1200 Φ1000×1500 Φ1100×2000
温度制御方法 日本島電製温度コントローラー
加熱方法 抵抗加熱
真空システム 防汚ポンプまたはスピンドルポンプ + ルーツポンプ
焼結雰囲気 炭化水素ガスなど
定格電源電圧 (V) 380
定格加熱電圧 (V) 設計に従い、炉変圧器を構成
真空限界 (Pa) 6X10ˉ2 (真空コールド状態)

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